阻抗分析仪可以评定压电陶瓷片、压电换能器、整个振动系统（换能器加上变幅杆、模具）等各种器件设备的性能优劣。用阻抗分析仪分析超声器件设备，最重要的几个参数如下：

1. Fs：机械谐振频率，即振动系统的工作频率、设计中应尽可能接近期望值。
 对于清洗机，振子的谐振频率一致性越高越好。
 对于塑焊机或超声加工，变幅杆或模具设计不合理的情况下，振子的谐振频率会偏离工作点。

2. Gmax：谐振时的电导，振动系统工作时的电导值，它是动态电阻的倒数。在相同的支撑条件下越大越好，Gmax＝1／R1。一般对于清洗或焊接振子来说，一般在50ms～500ms之间。如果太小的话，一般来说，振子或振动系统工作会有问题，如电路不匹配或转换效率低、振子寿命短。

3. C0：压电器件等效电路中静态支路的电容量，C0＝CT－C1（其中：CT为1kHz下的自由电容，C1为压电器件等效电路中动态支路的电容量）。使用时要以电感对C0进行平衡。
    在清洗机或超声加工机器的电路设计中，正确地平衡C0可以提高电源的功率因素，使用电感平衡有两种方法，并联调谐和串联调谐。

4. Qm：机械品质因素，以电导曲线法确定，Qm＝Fs／(F2－F1)，Qm越高越好，因为Qm越高，振子的效率越高；但Qm必须与电源匹配，Qm值太高时，电源无法匹配。
 对于清洗振子来说，Qm值越高越好，一般来说，清洗振子的Qm要达到500以上，太低的话，振子效率低。
 对于超声加工来说，振子本身的Qm值一般在500左右，加上变幅杆之后，一般达到1000左右，再加上模具，一般达到1500～3000。太低的话，振动效率低，但是不能太高，因为Qm越高，工作带宽越窄，电源难以匹配，电源难以工作在谐振频率点，设备无法工作。

5. F2，F1：振子半功率点频率，对于超声加工的整个振动系统（包含变幅杆和模具）来说，F2－F1要大于10Hz, 否则频带太窄，电源难以工作在谐振频率点，设备无法工作。    F2－F1与Qm值直接相关，Qm＝Fs／(F2－F1)。

6. Fp：反谐振频率，压电振子并联支路的谐振频率，在这个频率下，压电振子的阻抗最大。

7. Zmax：反谐振阻抗，正常的情况下，一个换能器的反谐振阻抗都在几十千欧姆以上，如果反谐振阻抗比较低，往往振子的寿命比较短。

8. CT：自由电容，压电器件在1kHz频率下的电容值，此值和数字电容表测得的值是一致的。这个值减掉动态电容C1就可以得到真正的静电容C0，C0需要用外接电感平衡，C1在系统工作的时候参与能量转换，不必平衡。
   
9. R1：动态电阻，压电振子串联支路的电阻，在相同的支撑条件下越小越好。对于清洗或焊接振子来说，如果R1太大的话，说明振子有问题。

10. Keff：有效机电耦合系数，一般来说，Keff越高，说明转换效率越高